SFC5500/SFM5500 Massenflussregler/-Meter

Die SFC5500/SFM5500 Massenflussregler/Messgeräte von Sensirion sind digitale®-basierte Multi-gas-CMOSens-Bauteile, die den Gasmassenstrom nach dem kalorimetrischen Prinzip basierend auf der Wärmeübertragung messen. Die Regler/Meter zeichnen sich durch unübertroffene Einstufungen bei Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu einem sehr attraktiven Preis-Leistungsverhältnis aus. Ein Heizelement auf einer thermisch isolierten Membran und zwei Thermosäulen, die flussaufwärts und flussabwärts aufgebracht sind, sind auf einem einzelnen Siliziumchip integriert. Bei einem Gasfluss wird die Temperaturverteilung flussaufwärts und flussabwärts unterbrochen. Diese Asymmetrie wird dann gemessen. Ein größeres Kanaldesign macht das Bauelement robuster gegen Partikel, Verstopfung und befeuchtete Gase. Aufgrund des kompakten Einzelchip-Designs und der Montage zwischen Metallteilen sind CMOSens®-basierte Sensoren auch sehr widerstandsfähig gegen elektromagnetische Störungen (EMV).

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Gehäusematerial
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Control range: 2 slm - 0.002 slm.
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1Auf Lager
10erwartet ab 25.03.2026
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Controller Flow Meter Gases 2 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Control range: 50 sccm - 0.05 sccm.
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6Auf Lager
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Controller Flow Meter Gases 50 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 10 slm - 0.01 slm.
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2Auf Lager
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Meter Flow Meter Gases 10 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 2 slm - 0.002 slm.
Datenblatt
3Auf Lager
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Meter Flow Meter Gases 2 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 50 sccm - 0.05 sccm.
Datenblatt
2Auf Lager
7erwartet ab 18.03.2026
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Meter Flow Meter Gases 50 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller Control range: 0.5 slm - 0.0005 slm.
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12Auf Lager
16erwartet ab 13.05.2026
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Controller Flow Meter Gases 0.5 slm to 0.0005 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller Control range: 200 slm - 0.2 slm
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10Auf Lager
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Controller Flow Meter Gases 200 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller Control range: 10 slm - 0.01 slm.
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5Auf Lager
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Controller Flow Meter Gases 10 slm to 0.01 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 0.5 slm - 0.0005 slm.
Datenblatt
4erwartet ab 15.04.2026
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Meter Flow Meter Gases 0.5 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum